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近期,我们顺利完成了浙江大学湿度可控动态配气系统GDS-LG42交货验收工作!
发布时间:2020-12-31浏览量:1184 分享新闻:

近期,我们顺利完成了浙江大学湿度可控动态配气系统GDS-LG42交货验收工作!

1. 温度可控动态配气测试系统包含配气子系统(配气仪)和材料与器件测试子系统两大部分
2. 配气系统:
型号:GDS-LG42
参数:
(1) 支持4路以上气体气源和1路以上液体气源连续动态配气,1路以上湿度控制,支持与其他品牌配气仪
串联使用增加配气通道数。
(2) 流量控制:气体质量流量控制器10sccm-5slm,控制范围2%-100%,流量精度≤±1%F.S,精度:
≤±1%F.S,重复性:<±2% Rd,线性:<±0.5% F.S ,响应时间:1~2 S ;
(3) 稀释比例:气体气源最大稀释比10000:1;液体气源浓度低至10ppb,
(4) 湿度控制:范围2 - 95%,精度≤±0.8%,重复性≤±0.1%RH;
(5) 防腐性能:耐各类强腐蚀性气体以及各类易挥发性液体,气体管路防腐蚀、防吸附
(6) 包含配气控制硬件和软件套装
2. 测试系统:
型号:HCP621G-PM
参数:
(1) 可与上述配气系统组合进行气体催化、传感等材料和器件测试;
(2) 包含光电气测试高温探针台(进口),温度范围:-190~600℃,温度分辨率0.01℃,温度稳定性:
±0.02℃,最大升温速率100℃/min;进气口定制化设计,使气体充分与样品接触,腔室内无死角设计;双
通道测试,支持I-t, R-t, V-t, I-V, V-I等多种测试模式;电压测量范围:±200mV~210 V,电流测量范
围:±100nA~3A,电阻测量范围:10-3Ω~10GΩ;定制窗口材质,可用于红外光透射,透射孔径:2mm ,可
用于Thermo NICOLET 6700 红外光谱仪;
(3) 包含16通道以上气体传感器测试模块,支持电化学、半导体、光离子化等多种形式的气体传感器;
(4) 包含材料和器件测试控制和数据显示软件和硬件套装。

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